一、主要功能特點
?????硬件系統(tǒng)
1、光機電一體化設(shè)計，外形結(jié)構(gòu)簡單；
2、掃描探頭和樣品臺集成一體，抗干擾能力強；
3、精密激光檢測及探針定位裝置，光斑調(diào)節(jié)簡單，操作方便；
4、采用樣品趨近探針方式，使針尖垂直于樣品掃描；
5、伺服馬達(dá)手動或自動脈沖控制，驅(qū)動樣品垂直接近探針，實現(xiàn)掃描區(qū)域精確定位；
6、高精度大范圍的樣品移動裝置，可自由移動感興趣的樣品掃描區(qū)域；
7、高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器，根據(jù)不同精度和掃描范圍要求選擇；
8、帶光學(xué)定位的CCD觀測系統(tǒng)，實時觀測與定位探針掃描樣品區(qū)域；
9、采用伺服馬達(dá)控制CCD自動對焦功能；
10、模塊化的電子控制系統(tǒng)設(shè)計，便于電路的持續(xù)改進(jìn)與維護(hù)；
11、集成多種掃描工作模式控制電路，配合軟件系統(tǒng)使用。
12、帶溫度、濕度顯示。
13、彈簧懸掛式防震方式，簡單實用，抗干擾能力強
14、帶光學(xué)定位功能
????軟件系統(tǒng)
1、可觀測樣品掃描時的表面形貌像、振幅像和相位像；
2、具備接觸、輕敲兩種模式,可選配（相位、摩擦力、磁力或靜電力工作模式）
3、可自由選擇圖像采樣點為256×256或512×512；
4、多通道圖像同步采集顯示，實時查看剖面圖；
5、多種曲線力-間距(F-Z)、頻率-RMS（f-RMS）、RMS-間隙（RMS-Z）測量功能；
6、可進(jìn)行掃描區(qū)域偏移、剪切功能，任意選擇感興趣的樣品區(qū)域；
7、可任意選擇樣品起始掃描角度；
8、激光光斑檢測系統(tǒng)的實時調(diào)整功能；
9、針尖共振峰自動和手動搜索功能；
10、可任意定義掃描圖像的色板功能；
11、支持樣品傾斜線平均、偏置實時校正功能；
12、支持掃描器靈敏度校正和電子學(xué)控制器自動校正；
13、支持樣品圖片離線分析與處理功能。
二、主要技術(shù)指標(biāo)
1、工作模式：接觸、輕敲、可擴展相位、摩擦力、磁力或靜電力
2、樣品尺寸：Φ≤90mm，H≤20mm
3、最大掃描范圍：橫向50um，縱向5um
4、掃描分辨率：橫向0.2nm，縱向0.05nm
5、掃描速率：0.6Hz~4.34Hz
6、掃描角度：任意
7、樣品移動范圍：0～50mm
8、馬達(dá)趨近脈沖寬度：10±2ms
9、光學(xué)放大倍數(shù)：10X
10、光學(xué)分辨率：1um
11、圖像采樣點：256×256，512×512
12、掃描控制：XY采用18-bit D/A，Z采用16-bit D/A
13、數(shù)據(jù)采樣：14-bit A/D、雙16-bit A/D多路同步采樣
14、反饋方式：DSP數(shù)字反饋
15、反饋采樣速率：64.0KHz
16、計算機接口：USB2.0
17、運行環(huán)境：運行于Windows98/2000/XP/7/8操作系統(tǒng)??

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